06

Skaningowy mikroskop elektronowy JEOL JSM-7200F wyposażony w działo z emisją polową elektronów typu. katoda Schottky'ego jest idealną platformą dla aplikacji analitycznych wymagających wysokiej rozdzielczości. Standardowo instrument wyposażony jest w pełni zmotoryzowany eucentryczny stolik umożliwiający badanie dużych preparatów oraz śluzę próżniową obniżającą koszty utrzymania. 
Nowy interfejs graficzny oferuje wyjątkową łatwość obsługi. Możliwe jest wyświetlanie czterech aktywnych obrazów na żywo (Live) jednocześnie, oraz możliwość dowolnego mieszania sygnałów z poszczególnych detektorów. 4 zdjęcia mogą być także jednocześnie zbierane i zapisywane nawet z pojedynczego skanu. 
Mikroskop FEG SEM JSM-7200F może być w pełni zintegrowany z: EDS, WDS, 3-View, układem litografii wiązki elektronowej, tomografią rentgenowską, spektrometrem katodoluminescencji, EBIC, techikami Cryo itd.

Wysoko rozdzielcze obrazowanie: 
Gwarantowana rozdzielczość JEOL JSM-7200 wynosi 1,6nm przy 1keV. 
Należy pamiętać, że rozdzielczość jest mierzona poprzez rozróżnienie na obrazie dwóch cząstek leżących w odległości 1,6nm przy WD: 2mm. Tak specyfikowany parametr nie odnosi się do teoretycznych wyliczeń producenta ani pomiarów z wykorzystaniem nie certyfikowanego oprogramowania! Najnowszy FEG SEM umożliwia uzyskiwanie wysokiej rozdzielczości zdjęć już przy napięciu przyśpieszającym 10V! Obserwacja powierzchni próbki z wykorzystaniem ultra-niskiego napięcia przyśpieszającego zmniejsza penetrację wiązką preparatu a także zapobiega uszkodzeniom i negatywnym skutkom ładowania powierzchni próbki. Detektory TTL zintegrowane w osi optycznej mikroskopu wykorzystują zaawansowany filtr energetyczny. Tryb "Gentle beam"  poprawia rozdzielczość obrazowania przy niskim napięciu przyśpieszającym dodatkowo podnosząc jakość badań drobnych struktur powierzchniowych przy bardzo niskim napięciu przyśpieszającym i bardzo dużych powiększeniach.

 

Mikroanalizę  w wysokiej rozdzielczości przestrzennej (patent Jeol) 
JSM-7200F jest w pełni analitycznym skaningowym mikroskopem elektronowym. Zapewnia doskonałą rozdzielczość przestrzenną mikroanalizy: EDS, WDS, EBSD i katodoluminescencji (CL). Zintegrowana i zautomatyzowana dodatkowa soczewka ACL działa jak soczewka korekcji aberracji (patent JEOL). Dzięki unikalnej konstrukcji możliwe jest uzyskiwanie wiązki pierwotnej o wyjątkowo małych wymiarach w szerokim zakresie prądu (400nA-1PA) z pominięciem stosowania nieproporcjonalnie dużej apertury lub nadmiernego obciążania działa elektronowego. Opcjonalny wsuwany detektor STEM umożliwia obrazowanie  cienkich próbek w rozdzielczości lepszej niż 0,8 nm przy jednoczesnej możliwości wykonywania badań mikroanalitycznych.

 

Tryb niskiej próżni do 300Pa

Uniwersalność JSM-7200F pozwala mu na pracę w "niskiej próżni" (LV) do obserwacji próbek skrajnie nieprzewodzących. Moduł niskiej próżni umożliwia pracę w dowolnym trybie obrazowania z wykorzystaniem maksymalnych prądów wiązki! Obsługa modułu niskiej próżni odbywa się w pełni automatycznie poprzez komputer sterujący mikroskopem.