Focused Ion Beam System

FIB oraz system dwukolumnowy SEM-FIB

JEOL JIB-4000 jest wysokowydajnym zaawansowanym instrumentem naukowo badawczym służącym do modyfikacji i obrazowania powierzchni preparatu za pomocą wiązki jonowej.

 

JIB-4000
JIB-4000 Focused Ion Beam Milling and Imaging SystemJIB-4000 Focused Ion Beam Milling and Imaging System

JEOL JIB-4000 jest instrumentem działającym w oparciu o pracę ze skupioną wiązką jonów. Jest to dedykowane urządzenie do preparatyki preparatów dla badań w technikach STEM/TEM a także przygotowania przekrojów dla obrazowania w mikroskopach SEM. Doskonale sprawdza się w roli narzędzia kontroli jakości wytwarzanych półprzewodników.

JEOL JIB-4000 posiada możliwość jednoczesnego montażu bocznego goniometru obsługującego uchwyty z transmisyjnych mikroskopów elektronowych a także standardowego uchwytu próbek jak w skaningowych mikroskopach elektronowych.

Dzięki doskonałej rozdzielczości obrazowej i wysokim prądom wiązki system jest zdolny do szybkiego i bardzo dokładnego przygotowywania preparatów. Kompaktowa budowa urządzenia i unikalne rozwiązania zastosowane w konstrukcji działa jonowego przyśpieszają działanie urządzenia czyniąc pracę maksymalnie efektywną i ergonomiczną.

Korzystanie z identycznych uchwytów próbek jak w mikroskopach TEM JEOL pozwala na błyskawiczną i bezproblemową wymianę preparatu i natychmiastowy podgląd rezultatów preparatyki. Standardowy uchwyt preparatu doskonale sprawdza się przy preparatyce pod badania SEM.

Podsumowując JEOL JIB-4000 zapewnia najlepsze parametry urządzenia, przy minimalnych wymiar instrumentu gwarantujących możliwość łatwej i szybkiej instalacji w dowolnym laboratorium. Umożliwia pracę przy najniższych dostępnych napięciach przyśpieszających(spośród urządzeń dostępnych na rynku) a precyzyjny system nawigacji preparatu dodatkowo przyśpiesza i ułatwia efektywną pracę.

Źródło jonów
Płynne jony Ga
Napięcie przyśpieszające
1 do 30 kV
Powiększenia 60x(w trybie wyszukiwania)
200x do 300,000x
Rozdzielczość obrazowa
5 nm (przy 30 kV)
Prąd wiązki
Do 60 nA (przy 30 kV)
Apertura 12 stopniowa (zmotoryzowana)
Predefiniowane tryby pracy Prostokąt, linia, kropka


Stolik preparatu W pełni zmotoryzowany w 5 osiach stolik
X:±11 mm
Y:±15 mm
Z:0.5 ~ -23 mm
T:-5 ~ +60°
R:360°
Maksymalny wymiar preparatu 28 mm średnicy. (13 mm wysokości)/ 50 mm średnicy (2 mm wysokości)


Akcesoria opcjonalne

  • Gas injection system 2 (IB-02100GIS2)
  • Carbon Deposition Cartridge (IB-52110CDC2)
  • Tungsten Deposition Cartridge (IB-52120WDC2)
  • Platinum Deposition Cartridge (IB-52130WDC2)
  • Side Entry Goniometer Stage (IB-01040SEG)
  • Probe Current Detector (IB-04010PCD)
  • Operation Panel (IB-05010OP)
  • Stage Navigation System (IB-01200SNS)
  • FIB Tip-on Holder (EM-02210)
  • FIB Bulk-Specimen Holder (EM-02220)
  • FIB Bulk-Specimen Holder 1 (EM-02560FBSH1)
  • FIB Bulk-Specimen Holder 2 (EM-02570FBSH2)
  • FE-SEM Specimen Holder Adapter (EM-02580FSHA)
  • Shuttle Retainer (EM-02280)
  • Atmosphere Pick-up System (EM-02230)