Focused Ion Beam System

FIB oraz system dwukolumnowy SEM-FIB

JEOL JIB-4000 jest wysokowydajnym zaawansowanym instrumentem naukowo badawczym służącym do modyfikacji i obrazowania powierzchni preparatu za pomocą wiązki jonowej.

 

JIB-4000
JIB-4000 - Focused ion beam system - JEOL

JIB-4000 to nowoczesny, wysokorozdzielczy instrument typu FIB  z nowoopracowaną optyką kolumny jonowej i intuicyjnym interfejsem użytkownika. Wyróżnia się niezwykłą skutecznością i prostą obsługą w osiąganiu znakomitych efektów preparacji próbek do obserwacji i analiz w mikroskopach elektronowych.

JIB-4000 może być wykorzystywany do wycinania cienkich próbek do analizy w STEM / TEM, a także przekrojów poprzecznych do analizy w SEM, z przeróżnych materiałów, również takich których preparowanie jest trudne lub nawet niemożliwe przy użyciu alternatywnych metod. Zarówno samo obrazowanie (obserwację mikroskopową) jak i proces trawienia przeprowadza się przy użyciu pojedynczej kolumny jonowej.

JIB-4000 jest dostępny z dwoma różnymi opcjonalnymi stolikami preparatowymi, klasycznym do preparowania przekrojów poprzecznych z próbek litych oraz goniometrycznym, typu side-entry, który pozwala na preparowanie/docienianie cienkich próbek bezpośredni w tym samym uchwycie, który jest wprowadzany do mikroskopu TEM.  Unikalna komora instrumentu JIB-4000 pozwala na jednoczesną instalację obu typów stolików.
Źródło jonów Ga (ciekły metal)
Napięcie przyspieszające 1 do 30kV
Rozdzielczość 5.0nm (przy 30kV)
Powiększenie X60 do 300,000
Maksymalny prąd wiązki jonowej 60 nA (przy 30 kV)


Stolik preparatu W pełni zmotoryzowany w 5 osiach stolik
X:±11 mm
Y:±15 mm
Z:0.5 ~ -23 mm
T:-5 ~ +60°
R:360°
Maksymalny wymiar preparatu 28 mm średnicy. (13 mm wysokości)/ 50 mm średnicy (2 mm wysokości)


Akcesoria opcjonalne

  • Gas injection system 2 (IB-02100GIS2)
  • Carbon Deposition Cartridge (IB-52110CDC2)
  • Tungsten Deposition Cartridge (IB-52120WDC2)
  • Platinum Deposition Cartridge (IB-52130WDC2)
  • Side Entry Goniometer Stage (IB-01040SEG)
  • Probe Current Detector (IB-04010PCD)
  • Operation Panel (IB-05010OP)
  • Stage Navigation System (IB-01200SNS)
  • FIB Tip-on Holder (EM-02210)
  • FIB Bulk-Specimen Holder (EM-02220)
  • FIB Bulk-Specimen Holder 1 (EM-02560FBSH1)
  • FIB Bulk-Specimen Holder 2 (EM-02570FBSH2)
  • FE-SEM Specimen Holder Adapter (EM-02580FSHA)
  • Shuttle Retainer (EM-02280)
  • Atmosphere Pick-up System (EM-02230)