Focused Ion Beam System

FIB oraz system dwukolumnowy SEM-FIB

Urządzenia klasy MULTI-BEAM: JEOL JIB-4501 oparty o działo elektronowe LaB6,oraz system JIB-4601F oparty o działo z emisją polową.

JIB-4501 Dwukolumnowy Mikroskop Analityczny klasy "MultiBeam" SEB - FIB
JIB-4501 Microscope Analytique à double colonneJIB-4501 Microscope Analytique à double colonne

Najnowsze urządzenie Multibeam JEOL JIB 4501 łączy w sobie doskonałe możliwości obrazowania kolumny SEM oraz precyzję kolumny FIB wynoszącą jedynie 1/10 mikrona!! Dwukolumnowy instrument wykorzystuje sprawdzoną technikę emisji elektronów z katody Lab6 z nowo opracowaną przez JEOL kolumną jonową, czyniąc możliwym modyfikację preparatu i jego obserwację w tym samym momencie.

Wszechstronność


  • Możliwość pracy w trybie niskiej próżni gwarantuje bezproblemową pracę z dowolnym rodzajem preparatu bez jakiejkolwiek wstępnej preparatyki.
  • Wydajne urządzenia GIS zapewniają błyskawiczną i precyzyjną aplikację dowolnych składników.
  • Stolik preparatu umożliwia pracę z dużymi próbkami aż do średnicy 76mm
  • Duża i wzorowo zaprojektowana komora preparatu posiada wiele portów umożliwiających zastosowanie wielu technik badawczych np. EDS/ EBSD oraz stosowanie niezbędnych Nano-manipulatorów

Innowacyjna ergonomia

  • Oprogramowanie S3 (Serial Slicing and Sampling) automatycznie kontroluje kolejne etapy cięcia i przygotowywania próbek natomiast oprogramowanie rekonstrukcyjne umożliwia dokładne trójwymiarowe odwzorowanie badanego preparatu.

  • Wysoki prąd wiązki jonowej umożliwia błyskawiczne i wydajne cięcie dowolnego preparatu. Dodatkowym ułatwieniem jest standardowy system SAS przyśpieszający wymianę próbek i poprawiający czystość komory mikroskopu.

Stabilność


  • JEOL JIB-4501 jest wyjątkowo stabilnym instrumentem podczas długiego opracowywania i modyfikowania dowolnego materiału. Za sprawą wyjątkowo dużego prądu wiązki jonowej(Max 60nA) możliwa jest modyfikacja powierzchni dużych obszarów preparatu. Precyzyjny w pełni eucentryczny stolik preparatu zapewnia doskonałą stabilność i precyzję a także ergonomię pracy dzięki 5 osiowej motoryzacji.
  •  

Polecamy:  Applications of Multibeam SEM/FIB Instrumentation in the Integrated Sciences, Microscopy Today, Lipiec, 2009.

Kolumna FIB

 

Źródło jonów
Płynne jony Ga
Rozdzileczośc 5nm przy 30kV
Napięcie przyśpieszające
1 do 30kV
Powiększenia 30x
100X to 300,000X
Prąd wiązki do 60nA (przy 30kV)

Kolumna SEM

 

Katoda LaB6
Rozdzielczość 2.5nm przy 30kV
Napięcie przyśpieszające
od 0.3 do 30kV
Powiększenia 5x do 300,000x
Prąd wiązki 1,000nA przy 30kV
Stolik preparatu
X: 76mm
Y: 76mm
Z: 5 do48mm
Z' dla ustanowienia nowego punktu eucentryki
T: -10° to 90°; R: 360° ciągły
Układ próżniowy
SIP (x2), TMP/RP (x2)
Istotne funkcje
Tryb niskiej próżni (LV)
Detektor elektronów wstecznie rozproszonych (BEI)
Urządzenie wtrysku gazu (GIS)