Mikrosonda Augera wyposażona w polowe działo elektronów typu Schottky'ego. Najdokładniejsza analiza składu chemicznego powierzchni.
Kolumna elektronowa : opatentowane przez JEOL wewnątrz-soczewkowe działo elektronowe FEG (zanurzone w pierwszym kondensorze) w połączeniu z innymi unikalnymi rozwiązaniami gwarantuje uzyskiwanie prądu wiązki 200nA przy napięciu przyśpieszającym 15kV i zachowaniu doskonałego skupienia wiązki. Hemisferyczny detektor HSA : Detektor spektrometru HSA został opracowany tak aby umożliwić doskonałe spektralne analizy energetyczne bez utraty czułości. Działo jonowe : Posiada dwa tryby pracy umożliwiające analizy chemiczne wnętrza preparatu odsłanianego przez jony(trójwymiarowe analizy składu chemicznego) oraz specjalny tryb umożliwiający pracę z materiałami nieprzewodzącymi.
Stolik preparatu
(zmotoryzowany)
1 - Résolution en Energie 2 - Cartographie en électrons Auger, résolution spatiale 3 - Détection du Lithium