SEM FEG

Skaningowe Mikroskopy Elektronowe (FEG)

JEOL oferuje szeroki wybór SEM wyposażonych
w działo z emisją polową elektronów (FEG),
idealnie dopasowanych do wymagań użytkowników.

JSM-100F Skaningowy Mikroskop Elektronowy z emisją polową
 
JSM 7200F

Model JSM-F100 posiada nie tylko nasze wysoko ocenione polowe działo elektronowe Schottky Plus wbudowane w pierwszą soczewkę i nasz nowoczesny system „Neo Engine” sterowania kolumną elektronową, ale także zupełnie nowy interfejs „SEM Center”oraz innowacyjną funkcję „LIVE-AI (Live Image Visual Enhancer - Artificial Intelligence”).

Te i inne cechy dają w rezultacie instrument, gdzie w optymalny sposób jakość obrazowania i analizy łączy się z wysoką wydajnością badań.
JSM-F100 wyposażony jest w spektrometr rentgenowski z dyspersją energii (EDS) firmy JEOL, który jest w pełni zintegrowany z nowym interfejsem „SEM Center”. Rozwiązanie zainspirowane przez użytkowników dla osiągnięcia wyższej wydajności i głęboko zintegrowanej funkcjonalności. Model JSM-F100 oferuje doskonałą wydajność pracy, o 50% lub wyższą w porównaniu z reprezentantami naszej poprzedniej serii JSM-7xxxF.
Nowy interfejs SEM Center do integracji EDS na nowym poziomie
Nowoopracowany graficzny interfejs użytkownika „SEM Center” w pełni łączy funkcje obrazowania SEM z jednoczesną analizą EDS. To potężne narzędzie i centrum dowodzenia które podnosi łatwość, pewność i precyzję obsługi tak zaawansowanego mikroskopu FE0SEM na całkowicie nowy poziom.

Nowa funkcja "Zeromag"
Wbudowana funkcja „Zeromag” odpowiedzialna jest za płynne przechodzenie od obrazowania optycznego do obrazowania SEM, tym samym znacznie ułatwiając lokalizację docelowego obszaru badań.

Nowy filtr LIVE-AI*
Filtr LIVE-AI wykorzystuje technologię sztucznej inteligencji (AI) i zostaje wbudowany w celu uzyskania wyższej jakości obrazów obserwowanych na żywo. Umożliwia wyświetlanie ruchomych obrazów w sposób płynny bez efektu zatrzymywania/rozmazywania. Ta unikalna funkcja jest szczególnie użyteczna i skuteczna podczas szybkiego przeszukiwania obszarów do obserwacji, a także znacznie ułatwia ustawianie ostrości i korekcję astygmatyzmu.

Porównanie normalnego obrazu i z zastosowaniem filtra LIVE-AI

Próbka: egzoszkielet mrówki, napięcie przyspieszające: 0.5 kV, detektor: SED


Działo elektronowe Schottky Plus (FEG) wbudowane w pierwszą soczewkę (Patent JEOL)
Oferowana przez JEOL unikalna sprzętowa integracja polowego działa elektronowego i soczewki kondensora o niskiej aberracji zapewnia bezwzględnie wyższą jasność działa. Wysokie prądy wiązki dostępne są już przy niskim napięciu przyspieszającym, co daje wiele  różnych możliwości, od obrazowania w wysokiej rozdzielczości do szybkiego mapowania elementarnego.


 

Hybrydowa soczewka obiektywu (HL)
Obiektyw HL (Hybrid Lens) łączy cechy soczewki elektrostatycznej i soczewki z polem elektromagnetycznym i doskonale realizuje zadania obrazowania w wysokiej rozdzielczości przestrzennej i analizy najbardziej różnorodnych próbek, od materiałów magnetycznych po nieprzewodzące izolatory.

NeoEngine (New Electron Optical Engine)
NeoEngine to najnowocześniejszy system cyfrowego połączonego sterowania nastawami optycznymi kolumny elektronowej. Umożliwia osiąganie znacznie wyższej precyzji w działaniu funkcji automatycznych, a także znakomicie podwyższa jakość obsługi.
 

Przed automatyczną regulacją ostrości
Po automatycznej regulacji ostrości

Próbka: nanocząsteczki cyny na węglu
Napięcie przyspieszające: 15 kV, WD: 2 mm, tryb obserwacji: BD, Detektor: UED, Powiększenie: x200,000
 

ACL (soczewka nadzorująca kąta przysłony), Patent JEOL
Kolumna JSM-F100 zawiera specjalną soczewkę, która steruje kątem przysłony (ACL). ACL ogranicza rozszerzanie się wiązki padających elektronów, aby zawsze i w sposób samoczynny utrzymywać najmniejszą średnicę wiązki elektronowej. Osiągane jest to poprzez optymalizującą bieżącą kontrolę kąta rozsyłu (przysłony) nawet podczas dużych zmian prądu wiązki, umożliwiając nie tylko płynną obsługę SEM, ale przede wszystkim obrazowanie z zawsze najwyższą rozdzielczości i najbardziej dokładną analizę rentgenowską. Soczewka ACL oraz działo elektronowe wbudowane w pierwszą soczewkę to dwie unikalne cechy konstrukcyjne, które maja zasadnicze znaczenie i stanowią o uniwersalności i wysokiej klasie naszych instrumentów SEM FEG.

System detektorów
JSM-F100 może zostać wyposażony w cztery detektory obrazowe, aby umożliwić jednoczesne obserwowanie różnych obrazów SEM o unikalnych cechach. Podobnie jak w konwencjonalnych mikroskopach SEM dostępne są tu detektory elektronów wtórnych SED (Secondary Electron Detektor) oraz opcjonalny wysuwany detektor elektronów wstecznie rozproszonych RBED (Retractable Backscattered Detector). Dodatkowo JSM-F100 może być skonfigurowany z dwoma wewnątrz soczewkowymi detektorami - standardowym detektorem UED (Upper Electron Detector) i opcjonalnym detektorem USD (Upper Secondary Electron Detector). UED tworzy obraz SEM, który miesza elektrony wtórne i elektrony wstecznie rozproszone pod dużym kątem. Natomiast USD zbiera elektrony wtórne o niskiej energii przechwycone przez filtr energii tuż pod detektorem UED, tworząc obraz SE.


 

UED: wysokokątowe elektrony wstecznie rozproszone
(kompozycja & struktura  krystaliczna)

USD: elektrony wtórne
(rozwinięcie powierzchni)
SED: elektrony wtórne i wstecznie rozproszone
(informacja topograficzna)

RBED: elektrony wstecznie rozproszone (kompozycja & struktura krystaliczna,& topografia)

Próbka: spiek NdFeB, napięcie przyspieszające: 5 kV, WD: 4 mm, tryb obserwacji: HL, filtr energii: –300 V
 

SMILE VIEW™ Lab


SMILENAVI*
Oprogramowanie SMILENAVI to narzędzie pomocnicze przeznaczone w pierwszym rzędzie dla początkujących użytkowników i umożliwiające płynne wykonywanie podstawowych operacji w mikroskopie SEM. Przyciski na schemacie blokowym SMILENAVI połączone są aktywnie z odpowiednimi przyciskami w interfejsie mikroskopu. Ponieważ interfejs mikroskopu wyświetla kroki operacji i lokalizacje przycisków, operatorzy będą mogli obsługiwać SEM bez użycia SMILENAVI.

Rozdzielczość 1,3 nm (1 kV)
Rozdzielczość (20 kV) 0,9 nm
Powiększenie od 10x do 1 000 000x (dla formatu Polaroid, 128 mm x 96 mm)
od 27x do 2 740 000x (na ekranie monitora (1,280 x 960 pikseli))
Napięcie Przyśpieszające od 10 V do 30 kV
Prąd wiązki od kilku pA do >300 nA (przy 30 kV)
od kilku pA do 100 nA przy 5 kV)
Detektory SED (detektor elektronów wtórnych)
UED (wewnątrzsoczewkowy detektor SE/BSE współpracujący z układem filtra energii)
Działo elektronowe Emiter Schottky in lens
Soczewka korekcji aberracji (ACL) Wbudowana
Obiektyw Hybrydowa soczewka obiektywowa (HL)
Stolik preparatu Goniometryczny, eucentryczny dla wszystkich odległości roboczych i w pełni zmotoryzowany w 5-ciu osiach
Przesuwy próbki X: 70 mm, Y: 50 mm, Z: 2 do 41 mm Pochył: -5 do 70°, Obrót: 360°
Motoryzacja przesuwów Pełna w 5-ciu osiach
Maksymalny rozmiar próbki Średnica: 170 mm
Wysokość: 45 mm
Tryb dużej głębi ostrości (LDF) Wbudowany