Litografia wiązką elektronową

Sprzęt do tworzenia i testowania układów półprzewodnikowych

Szeroka gama instrumentów z wiązką elektronową, do masek, litografii bezpośredniej, do seryjnej produkcji, jak również do zaawansowanych badań i rozwoju w przemyśle półprzewodnikowym.

JBX-8100FS
JBX-8100FS - JEOL
JBX-8100FS to system litografii wiązką elektronów z wiązką punktową, skanem wektorowym  oraz precyzyjnym stolikiem z krokowym mechanizmem przesuwu o wysokiej powtarzalności. Oferując możliwość zmiany rozmiaru wiązki w szerokim zakresie system ten wyróżnia się dużą wszechstronnością w swoich zastosowania, począwszy od podstawowych badań elementów układów, poprzez testowanie produkcji elementów optycznych, aż po badania i rozwój technik wytwarzania masek dla ekspozycji  przy  wysokich napięciach przyspieszających. System wyposażony jest w układ dynamicznej korekcji błędu skupienia wiązki, wynikający z jej odchylania.