Detektor SXES (eng. Soft X-Ray Emission Spectrometer) jest spektrometrem ultra wysokiej rozdzielczości działającym w oparciu o innowacyjną koncepcję jednoczesnego wykorzystania zjawiska dyfrakcji i kamery CCD analizującej spektrum rentgenowskie.

Tak samo jak w technice EDS następuje jednoczesny pomiar pełnego analizowanego spektrum! Rozdzielczość energetyczna spektrometru w odróżnieniu od spektrometrów EDS wynosi jedynie 0,3eV (Fermi-edge, Al-L standard) przekraczając nawet najbardziej zaawansowane spektrometry WDS (8eV).

Spektrometr JEOL SXES współpracuje z mikrosondami rentgenowskimi wyposażonymi zarówno w działo FEG jak i konwencjonalną katodę wolframową lub LaB6 a także z SEM FEG 7100F/7200F/7800F.

Omówienie systemu

Innowacyjny projekt spektrometru JEOL SXES umożliwia jednoczensy pomiar pełnego spektrum bez konieczności przemieszczania siatki dyfrakcyjnej lub detektora - kamery CCD.

Porównanie widma uzyskanego przy pomocy spektrometrów SXES, EDS i WDS

Azotek tytanu

Dla azotku tytanu piki N-Ka i Ti- Ll pokrywają się na widmie EDS. Widmo uzyskane przy pomocy spektrometru WDS równiez pozbawione jest szczegółowej informacji - możliwej do uzyskania po matematycznej obróbce widma. 

Widmo SXES w sposób czytelny umożliwia rozróżnienie i odseparowanie poszczególnych pików dla tytanu i azotu.